國(guó)產(chǎn)超級(jí)光刻機(jī)火熱刷屏 核心技術(shù)突破刻不容緩
2018-12-05
中國(guó)化工儀器
近日,一篇名為《我國(guó)研制世界首臺(tái)分辨力最高紫外超分辨光刻裝備》的新聞報(bào)道在各大媒體瞬時(shí)刷屏,尤其是席卷了半導(dǎo)體領(lǐng)域,在相關(guān)業(yè)內(nèi)人士的朋友圈、微博受到大量轉(zhuǎn)載。但該火熱現(xiàn)象背后,引發(fā)了業(yè)內(nèi)專業(yè)人士的多方質(zhì)疑。
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